Material tarče za planarno naprševanje iz titana

Material tarče za planarno naprševanje iz titana

Ime izdelka: Titanium Planar Sputtering Target Material
Razpon premera: Ø30-2000 mm
Razpon debeline: 3,0-300 mm
Dimenzije plošče: dolžina: 200-500 mm, širina: 100-230 mm, debelina: 3-40 mm (prilagodljivo)
Pakiranje: leseni zaboji ali po želji kupca
Označevanje: Lasersko označevanje je na voljo po zaključku
Pošlji povpraševanje

Opis izdelkov

 

Tarčni material za planarno razprševanje iz titanaje kovinska tarča, ki se uporablja v tehnologiji fizičnega naparjevanja (PVD). Izdelan iz-kovinskega titana (ali titanovih zlitin) visoke čistosti v obliki ravne plošče ali diska je zasnovan za uporabo pri brizganju z enosmernim ali RF-tokom. Njegova glavna vrednost je v zagotavljanju visokega tališča, nizke gostote, odlične mehanske trdnosti in dobre kemične inertnosti. Naneseni titanovi filmi imajo visoko trdoto, odpornost proti koroziji in močan oprijem ter služijo naprednim aplikacijam v polprevodnikih, zaslonih, fotovoltaiki, optičnem shranjevanju in biomedicinskih področjih.

 

Specifikacije tarče iz titanove plošče


 

Normalna velikost

Material

Sestava

12×132×1701 mm

Ti Gr1

99.70%

13×132×1701 mm

Ti Gr2

99.50%

12×170×830 mm

Ti 4N

99.99%

8×133×410 mm

Zr702

Zr+Hf>99.2%

8×158×1108 mm

Ta1

99.95%

10×159×1519 mm

Nb1

99.95%

18×152×635 mm

2N Cr

99.50%

20×190×740 mm

3N Cr

99.90%

 

Aplikacije

 

Polprevodniki in mikroelektronika:Pregradne plasti, medsebojno povezovalne plasti in prevodne plasti z nizko-odpornostjo za integrirana vezja, ki zahtevajo ultra-visoko čistost, večjo ali enako 99,995 % za postopke s širino črte manj kot ali enako 0,18 µm

Zasloni z ravnim zaslonom (LCD/OLED):Tanki filmi iz titana, naneseni na steklene podlage kot elektrode ali pregradne plasti, ki povečujejo vzdržljivost zaslona in optično zmogljivost

Fotovoltaika (tanko{0}}slojne sončne celice):Zadnje elektrode ali anti{0}}plasti za izboljšanje učinkovitosti fotoelektrične pretvorbe

Optično shranjevanje in komunikacija:Trde zaščitne plasti ali prevodne plasti za CD-ROM-e, optične diske in spojnike za optična vlakna

Premazi za utrjevanje površine in{0}}odporni na obrabo:Kompozitni sloji Ti/TiN na orodjih in kalupih za znatno povečanje trdote in odpornosti proti koroziji

Biomedicinski:Modifikacija površine naprav za vsaditev z uporabo odlične biokompatibilnosti titana za izboljšanje osteointegracije

 

Prednosti izdelka

 

Prednost

Ključne prednosti

Visoka čistost, malo nečistoč

Čistost večja ali enaka 99,99 % učinkovito zavira vključevanje kisika/dušika, kar zagotavlja optimalne električne/optične lastnosti

Visoka gostota in enakomernost

Vacuum melting and thermomechanical processing achieve >99,5 % gostota, kar zmanjšuje nepravilnosti izpusta zaradi poroznosti

Odlična mehanska trdnost

Upogibna trdnost, večja ali enaka 300 MPa (pri debelini stene, večji ali enaki 5 mm), vzdrži centrifugalne sile pri visoki-hitrostnem vrtenju in visoko-naprševanju

Dobra toplotna prevodnost in disipacija

Toplotna prevodnost 21,9 W·m⁻¹·K⁻¹ omogoča 10-15 kW visoko{3}}odlaganje moči z vodno hlajenimi nosilnimi ploščami

Odpornost proti koroziji in visokim-temperaturam

Visoko tališče (1668 stopinj) in plast titanovega pasivnega oksida zagotavljata dolgoročno-stabilnost v atmosferi argona/dušika

Prilagodljivost obdelave

Na voljo v ravnih, krožnih, stopničastih oblikah in oblikah po meri s širokim razponom velikosti za različno opremo (magnetronsko razprševanje, lasersko razprševanje, nanašanje z ionskim žarkom)

Standardizirano testiranje

Mednarodne analitske metode (GDMS, LECO) zagotavljajo skladnost s standardoma YS/T 893-2013 in GB/T 4698, kar zagotavlja sledljivost izdelkov

 

Kemijske lastnosti


 

Glavna sestava:Čisti titan (Ti) s kovinskimi nečistočami (Fe, Cr, Ni itd.) Manjše ali enake 10 ppm in plinske nečistoče (O, N, C, H) Manjše ali enake 200 ppm, Manjše ali enake 100 ppm, Manjše ali enake 50 ppm, Manjše ali enake 30 ppm (na YS/T standardi 892/891)

Oksidacijsko obnašanje: Forms dense TiO₂ passivation layer at room temperature, providing excellent corrosion resistance; maintains good stability at high temperatures (>600 stopinj)

Združljivost substrata:Odličen oprijem na Si, SiO₂, Al₂O₃, GaAs in steklene podlage; moč lepljenja vmesnika je mogoče povečati s predgretjem ali čiščenjem površine

 

Mehanske lastnosti


 

Parameter

Tipična vrednost

Opombe

Gostota

4,54 g·cm⁻³

Skladno s teoretično vrednostjo

Trdota

HV ≈200-250 (odvisno od toplotne obdelave)

Visoka trdota prispeva k odpornosti proti obrabi

Upogibna trdnost

Večji ali enak 300 MPa (debelina stene večja ali enaka 5 mm)

Primerno za-hitro vrtljive tarče

Modul elastičnosti

≈110 GPa

Zagotavlja dobro mehansko togost

Koeficient toplotnega raztezanja

8,6 × 10⁻⁶ K⁻¹ (20-100 stopinj)

Dobra združljivost z običajnimi substrati

 

Navodila za izbiro in uporabo


 

Zahteve glede čistosti:Standardne funkcionalne folije (dekorativne, splošne zaščite): 99,9%-99,99%; Vrhunski-polprevodniki/fotovoltaika: večja ali enaka 99,995 % ultra visoke čistosti za zmanjšanje vpliva kisika/dušika na električne lastnosti

Moč in odvajanje toplote: High-power (>10 kW) razprševanje priporoča ravninske tarče z debelino večjo ali enako 5 mm in toplotno prevodnostjo večjo ali enako 21 W·m⁻¹·K⁻¹, v kombinaciji z vodno{3}}hlajenimi nosilnimi ploščami za preprečevanje lokalnega pregrevanja

Mere in oblike:Krožne ali stopničaste tarče za vrtljive katode; pravokotne plošče za nanašanje-območij (npr. premaz-na-steklo), prilagojene dimenzijam odra opreme

Površinska obdelava:Ultrazvočno čiščenje in vakuumsko pakiranje zagotavljata površine brez-olja in delcev; Priporočamo-pregled pred namestitvijo in rahlo poliranje za zmanjšanje hrapavosti, če je potrebno

 

FAQ:

 

Ali nudite vzorce?
O: Da, nudimo brezplačne vzorce s pošiljanjem, ki ga organizira stranka. Pred večjimi nakupi priporočamo testiranje vzorcev ali oddajo poskusnih naročil.

V: Kako konkurenčne so vaše cene?
O: Naše cene odražajo izjemno vrednost, če upoštevamo vrhunsko kakovost in celovito storitev, ki jo zagotavljamo.

V: Kakšen je čas za vašo ponudbo?
O: Običajno 24 ur po prejemu povpraševanja. Nujne zahteve se prednostno obravnavajo po obvestilu.

V: Kako zahtevam izdelke po meri?
O: Delite svoje risbe, slike ali vzorce. Potrdili bomo specifikacije in nemudoma začeli s proizvodnjo.

 

Kontakt:

 

O STRX Titanium – Zakaj izbrati nas?

Vrhunski materiali:Izbiramo vrhunske surovine, da zagotovimo nadzor kakovosti od vira.

Stroga kontrola kakovosti:Izvajajo se strogi standardi nadzora kakovosti, da se zagotovi 100-odstotna skladnost z zahtevami strank.

Prilagojene rešitve:Zavedamo se, da ima vsaka panoga edinstvene potrebe. Naša ekipa tesno sodeluje s strankami pri prilagajanju izdelkov na podlagi posebnih zahtev. Vse izdelke iz titana prilagodimo (barva/velikost itd.) glede na risbe ali ideje strank.

Hitra dostava:Napredno upravljanje proizvodnje zagotavlja učinkovito in hitro dostavo od proizvodnje do odpreme.

Strokovna podpora:Pridobite vpoglede naše predane strokovne ekipe, ki nudi strokovne nasvete in praktično pomoč. STRX Titanium vam pomaga prepoznati in izbrati najboljše rešitve, prilagojene vašim poslovnim potrebam, kar zagotavlja optimalne rezultate in zadovoljstvo.

STRX Titanium si je zaslužil dosledne pohvale strank za visoko-kakovostne izdelke in konkurenčne cene. S strogim nadzorom kakovosti in strokovno tehnično podporo se veselimo sodelovanja z vami!

Če povzamemo, je STRX Titanium vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov iz titana na Kitajskem. Vzdržujemo močna tehnična partnerstva z glavnimi domačimi in mednarodnimi proizvajalci opreme in podpiramo stroge standarde kakovosti, da bi izpolnili zahteve strank.

Če iščete zanesljivega dobavitelja izdelkov iz titana, nas takoj kontaktirajte, če želite izvedeti več o naših izdelkih in storitvah.

E-pošta:info@strx-titanium.com

Priljubljena oznake: ciljni material za planarno razprševanje iz titana, proizvajalci, dobavitelji, tovarna ciljnega materiala za ravninsko razprševanje iz titana