Opis izdelkov
Tarčni material za planarno razprševanje iz titanaje kovinska tarča, ki se uporablja v tehnologiji fizičnega naparjevanja (PVD). Izdelan iz-kovinskega titana (ali titanovih zlitin) visoke čistosti v obliki ravne plošče ali diska je zasnovan za uporabo pri brizganju z enosmernim ali RF-tokom. Njegova glavna vrednost je v zagotavljanju visokega tališča, nizke gostote, odlične mehanske trdnosti in dobre kemične inertnosti. Naneseni titanovi filmi imajo visoko trdoto, odpornost proti koroziji in močan oprijem ter služijo naprednim aplikacijam v polprevodnikih, zaslonih, fotovoltaiki, optičnem shranjevanju in biomedicinskih področjih.
Specifikacije tarče iz titanove plošče
|
Normalna velikost |
Material |
Sestava |
|
12×132×1701 mm |
Ti Gr1 |
99.70% |
|
13×132×1701 mm |
Ti Gr2 |
99.50% |
|
12×170×830 mm |
Ti 4N |
99.99% |
|
8×133×410 mm |
Zr702 |
Zr+Hf>99.2% |
|
8×158×1108 mm |
Ta1 |
99.95% |
|
10×159×1519 mm |
Nb1 |
99.95% |
|
18×152×635 mm |
2N Cr |
99.50% |
|
20×190×740 mm |
3N Cr |
99.90% |
Aplikacije
Polprevodniki in mikroelektronika:Pregradne plasti, medsebojno povezovalne plasti in prevodne plasti z nizko-odpornostjo za integrirana vezja, ki zahtevajo ultra-visoko čistost, večjo ali enako 99,995 % za postopke s širino črte manj kot ali enako 0,18 µm
Zasloni z ravnim zaslonom (LCD/OLED):Tanki filmi iz titana, naneseni na steklene podlage kot elektrode ali pregradne plasti, ki povečujejo vzdržljivost zaslona in optično zmogljivost
Fotovoltaika (tanko{0}}slojne sončne celice):Zadnje elektrode ali anti{0}}plasti za izboljšanje učinkovitosti fotoelektrične pretvorbe
Optično shranjevanje in komunikacija:Trde zaščitne plasti ali prevodne plasti za CD-ROM-e, optične diske in spojnike za optična vlakna
Premazi za utrjevanje površine in{0}}odporni na obrabo:Kompozitni sloji Ti/TiN na orodjih in kalupih za znatno povečanje trdote in odpornosti proti koroziji
Biomedicinski:Modifikacija površine naprav za vsaditev z uporabo odlične biokompatibilnosti titana za izboljšanje osteointegracije
Prednosti izdelka
|
Prednost |
Ključne prednosti |
|
Visoka čistost, malo nečistoč |
Čistost večja ali enaka 99,99 % učinkovito zavira vključevanje kisika/dušika, kar zagotavlja optimalne električne/optične lastnosti |
|
Visoka gostota in enakomernost |
Vacuum melting and thermomechanical processing achieve >99,5 % gostota, kar zmanjšuje nepravilnosti izpusta zaradi poroznosti |
|
Odlična mehanska trdnost |
Upogibna trdnost, večja ali enaka 300 MPa (pri debelini stene, večji ali enaki 5 mm), vzdrži centrifugalne sile pri visoki-hitrostnem vrtenju in visoko-naprševanju |
|
Dobra toplotna prevodnost in disipacija |
Toplotna prevodnost 21,9 W·m⁻¹·K⁻¹ omogoča 10-15 kW visoko{3}}odlaganje moči z vodno hlajenimi nosilnimi ploščami |
|
Odpornost proti koroziji in visokim-temperaturam |
Visoko tališče (1668 stopinj) in plast titanovega pasivnega oksida zagotavljata dolgoročno-stabilnost v atmosferi argona/dušika |
|
Prilagodljivost obdelave |
Na voljo v ravnih, krožnih, stopničastih oblikah in oblikah po meri s širokim razponom velikosti za različno opremo (magnetronsko razprševanje, lasersko razprševanje, nanašanje z ionskim žarkom) |
|
Standardizirano testiranje |
Mednarodne analitske metode (GDMS, LECO) zagotavljajo skladnost s standardoma YS/T 893-2013 in GB/T 4698, kar zagotavlja sledljivost izdelkov |
Kemijske lastnosti
Glavna sestava:Čisti titan (Ti) s kovinskimi nečistočami (Fe, Cr, Ni itd.) Manjše ali enake 10 ppm in plinske nečistoče (O, N, C, H) Manjše ali enake 200 ppm, Manjše ali enake 100 ppm, Manjše ali enake 50 ppm, Manjše ali enake 30 ppm (na YS/T standardi 892/891)
Oksidacijsko obnašanje: Forms dense TiO₂ passivation layer at room temperature, providing excellent corrosion resistance; maintains good stability at high temperatures (>600 stopinj)
Združljivost substrata:Odličen oprijem na Si, SiO₂, Al₂O₃, GaAs in steklene podlage; moč lepljenja vmesnika je mogoče povečati s predgretjem ali čiščenjem površine
Mehanske lastnosti
|
Parameter |
Tipična vrednost |
Opombe |
|
Gostota |
4,54 g·cm⁻³ |
Skladno s teoretično vrednostjo |
|
Trdota |
HV ≈200-250 (odvisno od toplotne obdelave) |
Visoka trdota prispeva k odpornosti proti obrabi |
|
Upogibna trdnost |
Večji ali enak 300 MPa (debelina stene večja ali enaka 5 mm) |
Primerno za-hitro vrtljive tarče |
|
Modul elastičnosti |
≈110 GPa |
Zagotavlja dobro mehansko togost |
|
Koeficient toplotnega raztezanja |
8,6 × 10⁻⁶ K⁻¹ (20-100 stopinj) |
Dobra združljivost z običajnimi substrati |
Navodila za izbiro in uporabo
Zahteve glede čistosti:Standardne funkcionalne folije (dekorativne, splošne zaščite): 99,9%-99,99%; Vrhunski-polprevodniki/fotovoltaika: večja ali enaka 99,995 % ultra visoke čistosti za zmanjšanje vpliva kisika/dušika na električne lastnosti
Moč in odvajanje toplote: High-power (>10 kW) razprševanje priporoča ravninske tarče z debelino večjo ali enako 5 mm in toplotno prevodnostjo večjo ali enako 21 W·m⁻¹·K⁻¹, v kombinaciji z vodno{3}}hlajenimi nosilnimi ploščami za preprečevanje lokalnega pregrevanja
Mere in oblike:Krožne ali stopničaste tarče za vrtljive katode; pravokotne plošče za nanašanje-območij (npr. premaz-na-steklo), prilagojene dimenzijam odra opreme
Površinska obdelava:Ultrazvočno čiščenje in vakuumsko pakiranje zagotavljata površine brez-olja in delcev; Priporočamo-pregled pred namestitvijo in rahlo poliranje za zmanjšanje hrapavosti, če je potrebno
FAQ:
Ali nudite vzorce?
O: Da, nudimo brezplačne vzorce s pošiljanjem, ki ga organizira stranka. Pred večjimi nakupi priporočamo testiranje vzorcev ali oddajo poskusnih naročil.
V: Kako konkurenčne so vaše cene?
O: Naše cene odražajo izjemno vrednost, če upoštevamo vrhunsko kakovost in celovito storitev, ki jo zagotavljamo.
V: Kakšen je čas za vašo ponudbo?
O: Običajno 24 ur po prejemu povpraševanja. Nujne zahteve se prednostno obravnavajo po obvestilu.
V: Kako zahtevam izdelke po meri?
O: Delite svoje risbe, slike ali vzorce. Potrdili bomo specifikacije in nemudoma začeli s proizvodnjo.
Kontakt:
O STRX Titanium – Zakaj izbrati nas?
Vrhunski materiali:Izbiramo vrhunske surovine, da zagotovimo nadzor kakovosti od vira.
Stroga kontrola kakovosti:Izvajajo se strogi standardi nadzora kakovosti, da se zagotovi 100-odstotna skladnost z zahtevami strank.
Prilagojene rešitve:Zavedamo se, da ima vsaka panoga edinstvene potrebe. Naša ekipa tesno sodeluje s strankami pri prilagajanju izdelkov na podlagi posebnih zahtev. Vse izdelke iz titana prilagodimo (barva/velikost itd.) glede na risbe ali ideje strank.
Hitra dostava:Napredno upravljanje proizvodnje zagotavlja učinkovito in hitro dostavo od proizvodnje do odpreme.
Strokovna podpora:Pridobite vpoglede naše predane strokovne ekipe, ki nudi strokovne nasvete in praktično pomoč. STRX Titanium vam pomaga prepoznati in izbrati najboljše rešitve, prilagojene vašim poslovnim potrebam, kar zagotavlja optimalne rezultate in zadovoljstvo.
STRX Titanium si je zaslužil dosledne pohvale strank za visoko-kakovostne izdelke in konkurenčne cene. S strogim nadzorom kakovosti in strokovno tehnično podporo se veselimo sodelovanja z vami!
Če povzamemo, je STRX Titanium vodilni proizvajalec in dobavitelj izdelkov iz titana na Kitajskem. Vzdržujemo močna tehnična partnerstva z glavnimi domačimi in mednarodnimi proizvajalci opreme in podpiramo stroge standarde kakovosti, da bi izpolnili zahteve strank.
Če iščete zanesljivega dobavitelja izdelkov iz titana, nas takoj kontaktirajte, če želite izvedeti več o naših izdelkih in storitvah.
E-pošta:info@strx-titanium.com
Priljubljena oznake: ciljni material za planarno razprševanje iz titana, proizvajalci, dobavitelji, tovarna ciljnega materiala za ravninsko razprševanje iz titana

